第49章 捅破一层窗户纸

“何教授，试一试用钨，上次你做发光半导体用的金属原子蒸馏器就可以，晶片上硅衬底上，先沉积一层钨薄膜，再上铝导线层。”

“真的能行？”

何振华眼睛直直的看向赵国庆，要是真能行的话，直接从五微米制程，进展到一微米制程，这意义，不可谓不大。

高昌明也坐不住了。

“国庆，科技部刚刚发的文件，要巩固五微米，攻关三微米，迈步一微米制程，你这不咸不淡的一句话，科技部发的文倒成了笑话了。”

“有这文件？我还以为我们可以生产一微米制程的芯片呢？”

“……”

何振华摇摇头。

“也不费事，设备都有，试试看吧！”

…………

赵国庆长呼一口气，能帮的也就这么些了，不过这些透镜、光刻蚀刻材料都是日本进口的，也是挺让人忧虑的。

还有就是工艺自动化，如果不解决，光刻机项目永远没办法商用，也就是说永远没有自动造血能力。

赵国庆跟高昌明说：“高所长，如果有可能的话，14所还是要进几台尼康的光刻机。”

现在的asml还是个小弟，最先进的还属日本的光刻机，能搞几台进行逆向工程，积累一些技术基础，还是很有必要啊！